Keraamiline mahtuvuslik absoluutrõhuandur
Keraamiline mahtuvuslik absoluutrõhuandur on teatud tüüpi andur, mis kasutab tuumamaterjalina alumiiniumoksiidi keraamikat ja mõõdab rõhku absoluutse vaakumi võrdluspunkti suhtes, tuvastades mahtuvuse muutusi.
Lihtsamalt öeldes on see "muutuv kondensaator", mis muundab rõhu otse mahtuvuse muutuseks, kusjuures selle võrdlusõõnsus on vaakumis hermeetiliselt suletud.
Struktuur ja tööpõhimõte
Selle põhikomponent on keraamiline mahtuvustundlik südamik, mis on tavaliselt toodetud mitme{0}}kihilise kaas{1}}põletustehnoloogia abil:
Struktuur:See koosneb fikseeritud elektroodiga keraamilisest substraadist ja keraamilisest õhukesest kilest (diafragmast), mis toimib liikuva elektroodina, mis on kõrgel temperatuuril kokku klaasfritti kasutades.
Pärast sidumist moodustub nende vahele üliväike, hermeetiliselt suletud vaakumi võrdlusõõnsus. See on absoluutse rõhu mõõtmise võti.
See struktuur moodustab paralleelse{0}}plaatkondensaatori:
- Plaat 1: fikseeritud alumine elektrood (trükitud keraamilisele aluspinnale).
- Plaat 2: liigutatav ülemine elektrood (keraamiline diafragma ise, tavaliselt metalliseeritud).
- Dielektriline: vaakum (võrdlusõõnsuse sees) ja keraamiline.
Tööprotsess
- Algne olek:Absoluutses vaakumis on keraamiline diafragma deformeerimata ja mahtuvuse väärtus on algväärtus C₀.
- Rakendatud rõhk:Kui väline rõhk (absoluutne rõhk) mõjub keraamilise membraani välisküljele, toimub diafragma kerge paindedeformatsioon vaakumi võrdlusõõnsuse suunas.
- Mahtuvuse muutus:See deformatsioon põhjustab kahe kondensaatoriplaadi vahelise kauguse vähenemise.
Paralleelse{0}}plaatkondensaatori valemi C=εA/d (kus ε on läbilaskvus ja A suhteline plaadi pindala) kohaselt põhjustab kauguse vähenemine mahtuvuse väärtuse C suurenemist.
- Signaali mõõtmine:Järgnev spetsiaalne vooluahel (tavaliselt ASIC - Application-Specific Integrated Circuit) tuvastab selle mahtuvuse väikese muutuse, teisendab, võimendab ja lineariseerib selle ning lõpuks väljastab standardse signaali (nt pinge või digitaalse signaali), mis on võrdeline absoluutrõhuga.
Kuum tags: keraamiline mahtuvuslik absoluutrõhuandur, Hiina keraamilise mahtuvusliku absoluutrõhuanduri tarnijad
