Räni resonantsdiferentsiaalrõhuandur

Räni diferentsiaalrõhuandur on räni mikrotöötlustehnoloogia abil toodetud resonantsanduri tüüp, mis on spetsiaalselt ette nähtud kahe rõhu sisselaskeava vahelise rõhuerinevuse mõõtmiseks. Selle põhiprintsiibiks on diferentsiaalrõhu väärtuse määramine, mõõtes ühe -kristallilise räni resonantskiire omasageduse muutust.

 

See ühendab suurepäraselt kolme arenenud tehnoloogia eelised:

1. Rõhu erinevuse mõõtmine:Sobib kriitilisteks rakendusteks nagu vooluhulga ja taseme mõõtmine.

2. Resonantsprintsiip:Tagab võrratu täpsuse ja pikaajalise{0}}stabiilsuse.

3. Silicon MEMS tehnoloogia:Võimaldab miniatuursust, partii tootmist ja suurt töökindlust.

Selle südamik on keeruline mikrostruktuur, mis on valmistatud MEMS-tehnoloogia abil räniplaadil.

Põhistruktuur:

• Klaasist-räni-klaasist kolmekihiline{2}}liimitud struktuur.
• Ülemine klaasikiht: sisaldab rõhu sisselaskeavasid, mis on ühendatud kõrgrõhu{0}}küljega.
• Alumine klaasikiht: sisaldab rõhu sisselaskeavasid, mis on ühendatud madala rõhu{0}}küljega.
• Keskmine ränikiht: mikrotöödeldud ja sisaldab:

Sensing Diafragma: õhuke, kuid vastupidav räni membraan, mis tunneb rõhuerinevust mõlemalt poolt.

Resonantskiired: Anduri diafragma kohal (või sellesse integreeritud) asuvad rippuvad ränikiirstruktuurid. Tavaliselt on ühe anduri sees kaks identset resonantskiirt, mis asuvad vastavalt diafragma keskel ja servas.

Juhtelektroodid ja{0}}vastuvõtuelektroodid: kasutatakse resonantskiirte ergutamiseks vibratsiooniks ja nende vibratsioonisageduse tuvastamiseks.

Tööprotsess:

• Rakendage diferentsiaalrõhku: kõrge rõhk (P1) ja madal rõhk (P2) mõjutavad anduri membraani mõlemal küljel.
• Diafragma deformatsioon: rõhuerinevus põhjustab anduri membraani väiklase paindedeformatsiooni.
• Stressi tekitamine: see deformatsioon tekitab diafragmale pingejaotuse:

Diafragma keskel olev resonantskiir kogeb survepinget.

Diafragma serva resonantskiir kogeb tõmbepinget.

Sageduse muutus:

Resonantsprintsiibi järgi põhjustab survepinge selle resonantssageduse vähenemist.

Tõmbepinge põhjustab selle resonantssageduse tõusu.

Diferentsiaalmõõtmine: andur mõõdab kahe resonantskiire sageduste erinevust (Δf=f₁ - f₂).

Väljund on kahe resonantssageduse erinevus, mis pakub olulisi eeliseid:

Üldine{0}}Režiimi vea tagasilükkamine:

• Temperatuuri mõjud:Kui temperatuur tõuseb, muutuvad mõlema resonantskiire sagedused samas suunas (nt mõlemad vähenevad), kuid nende sageduste erinevus jääb muutumatuks.
• Staatilise rõhu mõjud:Mõlemale poolele rakendatav sarnane staatiline rõhk mõjutab mõlemat kiirt sarnaselt ja nende sageduste erinevus jääb samuti stabiilseks.
• Äärmiselt kõrge täpsus ja eraldusvõime:Sagedust saab mõõta äärmise täpsusega, mille tulemuseks on väga kõrge anduri eraldusvõime ja korratavus, täpsusega ±0,075% või isegi suurem.
• Olemuselt digitaalne:Väljund on sagedussignaal, mis pakub tugevat häiretevastast-võimet ja mida on digitaalsüsteemidel lihtne töödelda.

Kuum tags: räni resonantsdiferentsiaalrõhuandur, Hiina räni resonantsdiferentsiaalrõhuanduri tarnijad