Piesoresistiivne kiirendusmõõtur

Piesoresistiivse kiirendusmõõturi tuum on piezoresistiivne efekt. See kasutab pooljuhtmaterjalidest (nt räni) valmistatud mikrotöötlusega konsooltala või vastupidavat massi. Kui kiirendusmõõtur kogeb kiirendust, põhjustab inertsiaaljõud tõestusmassi deformatsiooni. See deformatsioon venitab või surub tala külge kinnitatud piezoresistiivset materjali, mis viib selle elektritakistuse muutumiseni. Mõõtes seda takistuse muutust (tavaliselt kasutades Wheatstone'i sillaahelat), saab kiirenduse suuruse täpselt välja arvutada.

Tänu oma ainulaadsele tööpõhimõttele pakuvad piesoresistiivsed kiirendusmõõturid suurt tundlikkust, laia mõõtmisvahemikku, tugevat struktuuri ja kõrget{0}}sagedusreaktsiooni. Kuid üldiselt on neil suurem energiatarve ja need on tundlikud temperatuuri suhtes (nõuab temperatuuri kompenseerimist).

Nende omaduste põhjal on nende rakendused keskendunud peamiselt väljadele, mis nõuavad kõrge-sageduse, suure-mõju (kõrge-g), dünaamiliste sündmuste mõõtmist.